这种不锈钢真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。

目    的

减少了半导体应用中真空腔的个数

技    术

有压差真空凹槽的预置空气轴承

优势及特性

——按照客户要求，加工订制；

——一对一专业出图设计；

——可配套指定真空机组系统；

——耐高温、耐腐蚀；

——高质量、高精度；

加工工艺，完全采用真空焊接技术拼装焊接；

先进的真空捡漏设备，更加保证产品的优越性；

超高真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求极高的真空领域。

我公司采用三维建模软件，按照实际比例建立3D模型，根据客户文字、语言草图等需求表述，专业设计出适合客户所需产品方案（在方案定稿之前所有设计不收取任何费用）。

为了生产出*匹配客户需求的产品，需要告知我公司以下几个问题点：

1、产品在使用过程中是否有温度产生，高温和低温分别是多少摄氏度，是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。

2、对产品材质是否有特殊要求，真空领域腔体常用材质为：碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等

3、产品的链接方式，抽真空的方式，抽真空所用的真空泵等

4、腔体真空度的要求，腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。

通常常见不锈钢真空腔体技术性能：

材质：304不锈钢或客户指定材质。

腔体适用温度范围：-190℃~+1500℃（需加水冷却）

密封方式：氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈

昆山新莱洁净应用材料股份有限公司 ( 以下简称新莱公司 ) 是于 2000 年在江苏省昆山市陆家镇创立的生产型企业，公司经过十余年的不懈努力，已于 2011 年 9 月 6 日在深圳证券交易所创业板成功上市。新莱公司主营业务为以高纯不锈钢为母材之高洁净应用材料研发、生产与销售，主营产品为构成高洁净流体管路系统和超高真空系统之关键组件，包括真空室、泵、阀、法兰、管道和管件等，主要应用于生物医药、电子洁净和食品等需要制程污染控制的领域，已成为真空设备制造厂商的专业供货商。