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真空视窗檔板

简要描述:真空视窗檔板用于保护窗口本实用新型涉及一种遮罩装置,特别是指一种真空设备的视窗遮罩 装置。

  • 产品型号:VPS-CF-275
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2018-09-03
  • 访  问  量:645
详细介绍
品牌其他品牌产地国产
产品新旧全新

产品特色
-超高真空转动轴,轴上有停止位置。
-观察范围广。
-安装便利。

超高真空视窗檔板, CF 法兰,不锈钢304/L

 

Catalog PN

Size

A

B

VPS-CF-275

CF2.75"

152

69

VPS-CF-450

CF4.5"

197

114

VPS-CF-600

CF6"

235

152

VPS-CF-800

CF8"

285

202

超高真空视窗檔板背景技术:
目前,*广泛用来制备薄膜的方法,当属真空镀膜技术。而真空镀 膜的技术原理是指,在一真空腔体中,透过电阻、电浆、电弧、电子束、 离子束、激光等加热方式,将4度膜材料予以气化成分子或原子,并沉积、 附着于目标基板表面上以形成薄膜。
通常,该真空腔体上是设置有透明观察窗的结构设计,主要是便于 供操作人员透过该观察窗,以随时注意、掌控与观察该真空腔体内部的
镀膜状况与种种物理现象,例如电浆是否点燃、电浆型态与颜色等。 不过,于镀膜过程中,所产生的镀膜材料分子或原子、其他杂质等游离 物,部分可能会附着于该真空腔体的内壁面,甚至是观察窗表面,可想 而知地, 一旦该观察窗表面积附污垢而影响其视野清晰度时,操作人员 便无法清楚、准确地观察到该真空设备内部的镀膜状况,以严密监控镀 膜制程的正常进行,相对造成薄膜品质良率的难以确定性。 

 

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