真空视窗檔板

产品特色
-超高真空转动轴，轴上有停止位置。
-观察范围广。
-安装便利。

超高真空视窗檔板, CF 法兰,不锈钢304/L

超高真空视窗檔板背景技术：
目前，*广泛用来制备薄膜的方法，当属真空镀膜技术。而真空镀 膜的技术原理是指，在一真空腔体中，透过电阻、电浆、电弧、电子束、 离子束、激光等加热方式，将4度膜材料予以气化成分子或原子，并沉积、 附着于目标基板表面上以形成薄膜。
通常，该真空腔体上是设置有透明观察窗的结构设计，主要是便于 供操作人员透过该观察窗，以随时注意、掌控与观察该真空腔体内部的
镀膜状况与种种物理现象，例如电浆是否点燃、电浆型态与颜色等。 不过，于镀膜过程中，所产生的镀膜材料分子或原子、其他杂质等游离 物，部分可能会附着于该真空腔体的内壁面，甚至是观察窗表面，可想 而知地， 一旦该观察窗表面积附污垢而影响其视野清晰度时，操作人员 便无法清楚、准确地观察到该真空设备内部的镀膜状况，以严密监控镀 膜制程的正常进行，相对造成薄膜品质良率的难以确定性。