产品中心
当前位置:主页 > 产品中心 > 真空阀门及腔体 > 真空腔体 >真空腔体

真空腔体

简要描述:这种真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的,而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应,抽气时间、稳定时间缩短等等。

  • 产品型号:D型
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2018-09-03
  • 访  问  量:393
详细介绍
品牌其他品牌产地国产
产品新旧全新

真空腔体

目    的

减少了半导体应用中真空腔的个数

技    术

有压差真空凹槽的预置空气轴承

优势及特性

——按照客户要求,加工订制;

——一对一专业出图设计;

——可配套指定真空机组系统;

——耐高温、耐腐蚀;

——高质量、高精度;

加工工艺,完全采用真空焊接技术拼装焊接;

先进的真空捡漏设备,更加保证产品的优越性;

超高真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求极高的真空领域。

我公司采用三维建模软件,按照实际比例建立3D模型,根据客户文字、语言草图等需求表述,专业设计出适合客户所需产品方案(在方案定稿之前所有设计不收取任何费用)。

为了生产出*匹配客户需求的产品,需要告知我公司以下几个问题点:

1、产品在使用过程中是否有温度产生,高温和低温分别是多少摄氏度,是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。

2、对产品材质是否有特殊要求,真空领域腔体常用材质为:碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等

3、产品的链接方式,抽真空的方式,抽真空所用的真空泵等

4、腔体真空度的要求,腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。

通常常见真空腔体技术性能:

材质:304不锈钢或客户指定材质。

腔体适用温度范围:-190℃~+1500℃(需加水冷却)

密封方式:氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈

 

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
推荐产品

昆山新莱洁净应用材料股份有限公司主要经营bioclean超高洁净解决方案、不锈钢管、洁净管道、卫生级离心泵、阀门、隔膜泵、高洁净发泡材料等...主要应用于生物医药、电子洁净和食品等需要制程污染控制的领域,流体设备制造厂商的专业供货商。等产品。

地址:江苏省苏州市昆山市陆家镇陆丰西路    传真:0512-57871472    邮件:tangfeiji@kinglai.com.cn

2021 版权所有 © 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司   备案号:苏ICP备10221582号-3    sitemap.xml    管理登陆    技术支持:制药网    

    

在线咨询
联系电话

18962632660